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光腔衰荡光谱测量系统(ppm级超高精度反射率测量)

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光腔衰荡光谱方法(CRDS, Cavity Ring-Down Spectroscopy)是一种基于高精细度谐振腔的高灵敏度探测技术,主要用于测量各种反射率大于99%的超高反射率反射镜的反射率,测量精度可达百万分之一量级!


光腔衰荡光谱方法通过对指数型的腔内衰荡信号的检测摆脱了激光能量输出的起伏所引起的误差。由两片99.99% 反射率组成的光腔对损耗的测量精度可达ppm量级。


应用领域:

高反射镀膜层损耗的精密测量

正入射反射率R>>99%的平面或凹面光学元件的损耗测量

精度dR/R<2ppm @ R>99.5%

检测用激光波长可选(如355nm…532nm…633nm…1064nm…1319nm

 

测量原理:

脉冲光或快速开关的连续光耦合进谐振腔

待测膜层在每次往返光程中经反射产生损耗

时间相关的输出信号的测量得到衰荡数据

脉冲光往返时间已知,根据衰荡的时间特点,得到反射率

 

技术指标:

测量反射率:    R>>99%

精度:              dR/R < 2ppm @ R>99.5%

样品/基底要求*:  ø1”Or 0.5”, 厚度~6mm

基底透明,后表面平面抛光

*0o正入射测量,其他要求可订制。

供电电源:

激光器              100~240VAC, 50~60Hz

探测器              +/-9 VDC

接口:              USB 2.0

含数据采集, A-D转换,数据处理等模块。软件包括反射率分析、生产数据录入及处理等。

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