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生物显微成像系统

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超分辨光学显微镜(SMAL微球放大技术)

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超分辨扫描光学显微镜


采用先进的微球技术(SMAL),突破光学衍射极限,实现超分辨(<100nm)光学成像。可广泛应用于生物显微成像、半导体检测、地质矿物研究等。




主要应用:


■   半导体缺陷检测

■   矿物质纳米光学观测

■   石墨烯CVD检测

■   非荧光生物显微


指标参数:


应用图例:

  


半导体芯片微观结构,线栅间隙100nm。

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