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主动隔振平台

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大负载桌腿型、主动气浮隔振光学平台(MAPS series)

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MAPS 系列产品—凝缩了最新除振技术的精华, 小巧玲珑的MAPS 系列能应对全自由度的振动。

所属类别:光学隔振平台 » 主动隔振平台

所属品牌:日本Meiritz公司

产品负责人:

姓名:许工(Gary)

电话:130 2016 6031(微信同号)

邮箱:zhengyang-xu@auniontech.com


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产品介绍视频


产品简介

明立精机的MAPS 系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1 4 个的话,对应全自由度的振动,能发挥出除振性能、制振性能、定位性能等。






产品特点

  1. MAPS 可以消除被动除振的困难频段的振动

  2. 标准的MAPS 可除振10 吨以上的设备

  3. 搭载工件等移动装置也不会摇摆

  4. MAPS 具有精确定位及精密校平性能

  5. MAPS 是小型易操作的组合型系列

  6. MAPS 是构成精密设备的一个重要部分


应用领域

半导体制造,激光加工


主要规格和参数


附注


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产品标签:主动型隔振平台,精密仪器光学平台,显微镜隔振平台,空气弹簧式隔振平台,主动除振装置,主动隔离器,气浮平台,光学平台,高性价比光学平台,减振平台,防震平台,台式主动隔振平台,大载荷主动隔振平台,herzan主动隔振平台,QuietIsland,电镜主动隔振平台,herz主动隔振平台,Herz AVI,200,AVI,200,TMC主动隔振平台,Meiritz 主动隔振平台,Daeil主动隔振平台,DIVA,UB,Herzan,主动隔振气浮平台,主动隔振平台,明立主动隔振光学平台,明立主动隔振平台,MEIRI